三超新材:目前公司CMP-Disk在部分客户的Fab端已通过验证|全球焦点
来源:界面新闻    2023-07-02 18:26:10


【资料图】

三超新材7月2日在互动平台表示,CMP-Disk市场国内目前主要被韩国SAESOL、中国台湾Kinik 和美国3M垄断,公司研发生产的CMP-Disk在国内产品中优势较为明显,目前公司CMP-Disk在部分客户的Fab端已经通过验证。

CMP-Disk的技术核心有:钻石碟表面的金刚石颗粒不能有叠砂,表面必须足够平整;表面的金刚石分布密度要足够多,保证一定的磨削能力;修整器表面的金刚石颗粒在研磨抛光垫的过程中不能脱落,以免脱落的金刚石颗粒划伤晶圆表面。

(文章来源:界面新闻)

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