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三超新材7月2日在互动平台表示,CMP-Disk市场国内目前主要被韩国SAESOL、中国台湾Kinik 和美国3M垄断,公司研发生产的CMP-Disk在国内产品中优势较为明显,目前公司CMP-Disk在部分客户的Fab端已经通过验证。
CMP-Disk的技术核心有:钻石碟表面的金刚石颗粒不能有叠砂,表面必须足够平整;表面的金刚石分布密度要足够多,保证一定的磨削能力;修整器表面的金刚石颗粒在研磨抛光垫的过程中不能脱落,以免脱落的金刚石颗粒划伤晶圆表面。
(文章来源:界面新闻)
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